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    公开号:WO1988006270A1
    申请号:PCT/JP1988/000162
    申请日:1988-02-17
    公开日:1988-08-25
    发明作者:Masaaki Adachi；Yasuhide Nakai；Hideji Miki
    申请人:Kobe Steel, Ltd.；
    IPC主号:G01B11-00
    专利说明:
    [0001] 明 害 発明の名 »
    [0002] 表面粗さ 定 蠹
    [0003] お ft分 2T
    [0004] この ¾明は s精 s加工 などの stag定面も光 してそ の表 amさ 定するための装 atに ¾する，
    [0005] 景技術
    [0006] 磁気ディスクや光デ スク， それに半 ウェハなどに おいては， その表面を超糟 amェするとともに， 加工 »の 衷 ®fiさ *高精度で »定しておく必要がある · このような ¾®sさの 定に老いては， 通常， »¾s的な ttlt式 ©粗さ が用いられるが， 定面か かい場合には によって 被 as定面に いてしまうため， 弗 式のま ®»さ浏 定装置 *使用すること^ましい， この種 触表 ©a 'さ測定 として なものは光学式の装置であるが， そのうちでミ a—型干渗機構を利用した ¾ の例 *第 1 1 aに示す， 同 Hにおいて， 光 a 1から与えられた光 Lはハ
    [0007] —フ ラー 2で Κίίされ， 集光レンズ 3によって集光され て， α— s干 ¾wa« 4に 3d達する， このミロ一 s干 » 構 4は， ¾明 « 5の一 »に 3甲 け， さらに， この 3明お 5に TOにビームスブリツタ （ハーフミラー） Ίも ¾βして されている ·
    [0008] そして， この 口一型反射 «梅 4に した光のうちの 一部はそのまま Ηの ^へと遒み， »«3£« 8の 测定» 9で反射されて反射光 L Sとなる · こ ©Κ射光 L Sは ロ 型 射《a を逆 Λき （上向き） に aつて s光レンズ 3 る，
    [0009] 一方， 集光レンズ 3から 3明 S5*ttて ームスプリッ タ 7に ¾遠した光の残りの!^は， このビームスブリツタ 7の表面で反射された , 透明 S50表面 （基準面 10) でも^されて SJIi光 LRとなる， そして， さらにビーム スブリツタ 7で反射された ¾に iS «5*2S し， ¾光レ ンズ 3に か て逸行する，
    [0010] このため， 集光レンズ 3も ¾して 上方に向う光 Iは ¾M3E®Sで Sitした光 LSと基準面 10で反射された光
    [0011] LRとの干 光となる， そして， これらの 2¾¾ 0反射 ¾
    [0012] LS, LRの光路差は， Φビームスブリ 'ノ夕 7と基準面 1 0との闞の柱 «に Sする と， ②ビームスブリツタ 7と 定面 9との IWの往 atに Sする との ¾となっている · したがって， これらの ^ttをそれぞれ DR, DSと香くと . (DR— DS) の と^お光 の波 &スとの閟裸によつ て定まる位桔差が 2つの iSli^LR, しミの!«に生じ， そ の位相きに応じて干 光 が ¾化する · このため， 千渗光 I © ίも光センサ 11で梭 ¾すれば， ビームスブ · リツタ 7と tti«3E 9との {«の ¾Λ し がって 面 9のうち光ほおも行なっている!^の富さがわかる · そし ft*定物 8も Sの水平方^に並逸移動させそれによつて被 ¾定面 を光走査することによって， 面 3の «さ される ·
    [0013] ところで. このような表面粗さ測 «S«では， ビームス /00162 プリフタ 7と被洌 面 9との IfflcOfiMDSに対する干 ί^ΛΙ
    [0014] の》度 Sfe化か 射光 Lの波 を 3S» »とする )¾ 化
    [0015] となるため， 粗さの ¾定上 !5铖は ¾Α の 1/2 (^ra光で
    [0016] は 0. 3^ m となる， また， 干渗光の *出精度は 度
    [0017] 爽化の 1ノ 20~1/30であるため， »«0, 03-0.
    [0018] 015 が検出精 Sの 界となる ·
    [0019] そこで， この！ ¾界もこえた い Λ«で 定を行うために，
    [0020] ΡΖΤ (ピエゾ棄子） なとどを利用してミロー干 «構4の
    [0021] 全体を上下方 Wに /4に Κじた ずつ移 »させ. 位相
    [0022] *当初のものからそれぞれ 90' , 180* , 270 だけ
    [0023] 增加させて， おのおのについての測定 行なうという技術が
    [0024] 提 されている， この場合， 当初の位 SH係での *出 ¾Utを
    [0025] F0 とし. ヒ ^相 *付加した後の检出強度もそれぞれ
    [0026] Fg0. 180 ' ^ ΊΟ とすると，
    [0027] ' Ρσ + Q% COS0 (1)
    [0028] Fqo = Gi + 02 COS (0+90 )
    [0029] =Gi - S 1 n<5& (2)
    [0030] F)go一 Gi — G2 COSd 8)
    [0031]
    [0032] が afcfcする. ただし. は当初の位担さであり， Gt
    [0033] はそれぞれ δΛΛ分， 交 ¾¾分である ·
    [0034] すると <1〉〜（4)式より，
    [0035] φ = t a n F -《B)
    [0036] F* ( xjo-Fqo ) / (FQ -P|30 )
    [0037] {« ； Wられるが， (fi), 式は 4つの *出 ¾«植から位相差 0
    [0038] (したかって 面 9 ©高さ〉 も求められる式となってい
    [0039] るため， 針的に鎮 ¾は 少し， 度杏商上させること
    [0040] ができる，
    [0041] このようにして第 1 1囟の装置 ©¾定«度も W上させること
    [0042] ができるが， それは sa¾ (特に光学糸） と ¾¾1¾«8との
    [0043] 位 ¾M係が不 ¾であることも前 »としている♦ ところ
    [0044] には からの の S勳によって被 ¾SJe*8と 3£髦との位 S
    [0045] mm) は玲 ,に ¾¾する♦ そして， これを坊止するた
    [0046] めには大きな坊 けね^ならず, 所に
    [0047] か生じてしまう， また， 奄行なうために 行
    [0048] 移勳させるための «« (たとえばスライ ド »«) 真 に： ts
    [0049] じて被 «£«!8 小に上下勖すると， この ¾動 の
    [0050] 中に »されてしまう， 1 このため， nmオーダーの粗さ測 のような場合において》
    [0051] 述したような II度 ^上に Hする改良も加えても， には，
    [0052] 飄 ©¾»などによ て钹 定面と との閱の 化
    [0053] するため， 度 0粗さ 定も行なうことが困»であるという
    [0054] !U!fiがあ ·»た · 2
    [0055] ¾明の蘭
    [0056] の穽明は従来技街における上 © i9の克 SSも意 Sしており
    [0057] 面と ¾S¾との閟 ¾»しても高 «*の粗さ ¾定
    [0058] *行なう Cとができる衷¾«さ 5£¾置奁¾¾することも目的
    [0059] とする， 2 上述の目的も ¾βするため， この発明は， S測定面を走査し て前 β被測 £¾の表面粗さ 測定する衷 ®fiさ 置も对象 として， （a ) 所 S«所に位 3抉めされたセンサ面も有し， そ の時点における ttお被 ¾1定面上の » 査«域の中心おと前 ¾Βセ ンサ面との の相対的 葆奄光学的に ¾出する第 1の ' センサと， （b〉 的 β第 1の 雇センサのセンサ面に対して新 の位 StM係にある Sf所に位 31决めされた别のセンサ面も有し， 前 心 »の近 域と前 E のセンサ面との 1¾の平均的な相 対的 ffi»BI»*光学的に *出する * 2 ンサと， （ c ) m iと第 2の センサのそれぞれの検出》果に基いて， 前お中心 ¾と前お近 との 1H©相対的凸 煤 *演算して もとめる 手 a:とも投け， 相対的 ώ凹 係に基いて前 e
    [0060] ¾M定面の表面粗さも求める，
    [0061] 面の簡単な K明
    [0062] 第 1囡は， 実施例の m«成安示す
    [0063] 第 2 Hは, »Wにおけるセンサへマドの内 も示す , 第 3図ないし第 5 ¾は， ¾2Wiめ 明 0， 第 6 および 第 7図は. ¾»Λの動作を示すフ a—チャート， 第 3 および 第 90はデータ例 *示すグラフ， 第 1 0 Hは， この ¾明の ¾ wを示す , 第 1 isは， δέ* 置の sEsaである，
    [0064] 発明 * するための ftftの形
    [0065] 第 ISは、 この発明のこの ¾明の一 例である表 ®fiさ 定
    [0066] §置 100 示す SIであ ¾♦ この 00は、 ¾««%8を 支持 '異 ¾させるための支持 »櫞 20と、 a¾する光学系や ¾ を含んだセンサへ' yド 30とを備えている, このうち、支 持 «構 20は、 固定合 21上を Sの X方向に並！^動する ¾& スライドテーブル 22も有しており、 この ¾¾スライドテープ ル 22は、 リニアァクチ：！エータ 23の ¾勖カによって上記並 進 ¾を行う， m»スライドテーブル 22上には、 3®の PZ T24a~2 がほぽ正三角¾伏に面 されており、 この ΡΖ丁 24a〜24 c上にサンブル台 25が取りつけられてい る♦ ！定 ¾ί (サンブル） 8はこのサンブル台 25上に載 ¾さ れている。 ΡΖΤ24a〜24cは ΡΖΤコントローラ 52か ら与えられる PZT制御 号によって図の Z方 1¾に ¾別に伸 » する， その結果、 サンプル台 25 (徒って ¾¾定物8©¾¾1定 面 9) は、 その面の姿 »と法線方商 nについての位置 （ 示例 では 2方向の高さ） とが可変となっている， このため、 これら の？∑丁243〜24<;等にょって、 被泗定面 9の姿勢および 法S方向の位置を変化させる可変移 ^されているこ とになる， 一方、 センサへッド 30は、 中空円简拔のセンサ簡 45の下 ®に、 集光レンズ 31とミロ一 千 構 32とを えている， 但し、 この実施拥では、 第 2図に示すように、集光 レンズ 31として、 その下面: W坦なレンズ （ミ ー レ ンズ） を使用し、 この平坦面を基準面 33として使用する， ま た、 iの基準面 33の中心筘付近には 在 W^¾込まれてい る， さらに、 ハーフ ίラー 3 4は第 1 I S®ビームスブリツタ 7と同様の《ftを某す 'る，
    [0067] 集光レンズ 3 1の上方には、 単色光 S3 5からの光も 反 射するハーフミラー 3 S JWRけられており、 さらにこのハーフ ミラー 3 6の± ^には ¾光 3 7が Sけられている · この ¾Λ 板 3 7の中心には所定のサイズ （たとえば S I 0 ) のビ ンホール 3 8が ¾されており、 このビンホール 3 8の ^に は光電子增倍脊 3 9が位 S決めされている · また、 光¾ 3 7 の下面には、 上 £ビンホール 3 8を中心とした fSJ心円上に 3悃 のシリコンプ トデイチクタ 4 0 s！〜 4 0 cかほぽ等角度間 B で固定されている， これらのフォ トディテクタ 4 0 a〜4 0 c は比較的大きなセンサ面も有しているとともに、 上S光鼋子坩 倍管 3 9のセンサ面に対して固定的な位 係を有している， 述する K明から明らかとなるように、 上の光学的 ««の うち、 ミ π—型千涉 »» 3 2, ビンホール 3 8および光鼋子增 侑 3 9によって、 被測定面 9のうちその時点において光照射 している領域 Aの中心部 P (第 3 ®〉 と光 孑增倍脊 3 9の受 光面 （センサ W) との 1BJの西ほ IS係を検出する 「第 1の鹿 1«セ ンサ」 の検出光学系が S ftされる♦ また、 ミ《— 干渙»« 3 2およびフ トディテクタ 4 0 a〜4 0 cによって、 第 3図 の中心部 Pを囲む 3 ίΒの近 &a域 R a〜R cとフォ トディテク タ 4 0 a〜4 0 cのセンサ面とのそれぞれの 1¾の相対的 ¾難 M ¾を¥均的に求める 「第 2の靼¾センサ」 の検出光学系が ¾成 される * すなわち、 この ½剁では、 ミロ一型干渉穗* 3 2が 第 1と第 2の趄弒センサに兼 きれている · 次に、 ほ^ aa系 «について 明する * この s¾i 00の is 号 理系 *tは 2系 *tに大別されており、 そのうちのひとつは块 ώデータから表面粗さ安¾出して求める系¾である · この系 « は、 ) 光電子增^ *3 Sとプオトディテクタ 40 a〜40 cのそれぞれの検出出力 （千 号） Sp, Sa〜Scに対し てそれぞれ後述する演算も行い、 それによつて光路差 号 Dp, D a〜D c 逑する， ） 奎癸生する千铮信号 理面路 61 p, 81 a~61 , (b》 上 S光 ¾¾惯号 Da~DciD和を求め る加 »SS 2r (c〉 加 »S62の 力を' 3 'で する接 IT S63, および （d〉 ^B 3の出力を光路楚僂夸 Dpから 引く 4を億えている · これらの各 を行なう理由 は、後に辞述する， そして、 »S64の出力 （J¾所的凸 号〉 はコンピュータ 50に与えら ここで されるととも にブ αッタ S 5に与えられる， 後述する走査によって被测定面 9の全体についての «I定: Wなわれることによって、 このブ a ッタ 65には 定された粗さ钦 か 錄される，
    [0068] 一方、 ¾©ほ咢½理系; ¾は、走査蘭御と PZT24a〜24 cの伸繡制 »とを行なうためのものである · この系統では、 フ ォ トディテクタ 40a〜40 c©¾¾¾力 （干 僂号） Sa〜 Scを取込んで 2丁コント ーラ52に 信号を出力 する · この実 例ではコンビユータ 50によってこの锒雜を実 ¾させている， また、 コンピュータ 50から走査移動のための 走査 御ほ号をリユアァクチ rtエータ ¾¾回¾53に出力する♦ なお、 図示例では理解を容 sにするために 系轼にハ ード回路を部分的に使翔しているか、 これらの 1B¾0機 もす ベてソフト的に行なうことが可 ¾であることはもちろんである， B. 寞 ^の勳作
    [0069] ¾に、 この S¾l 00の動作 *、 wの特 を中心にし て 84明する *
    [0070] まず、 光 2835からの; ¾Lによって ¾¾3Jg®9上の光照射 ¾ «Αと基準面 33とを豚射し、 それによつて生ずる 2種觌の反 射光 LS, LR ) を？！るまでの光学的頃 理は従来例と同後である， ただし、 Sに SS明したように、 その 時点で凸 03を検出しょうとしている (中心部 P) よりも大 きな《«¾光^射 «¾Aとしている，
    [0071] 干渉光 Iのうち、 中心部 Pからの反射光 LS*含む光は、 ビ ンホール 38を通って光 «子增倍管 39に与えられ、 この光竜 子增倍管 39においてその強度に応じた光 ¾換馏号 （干 号〉 Spに変換される， また、 干 光 Iのうち、 第 3図の近谤 «¾Ra〜Rcのそれぞれからの反射光 *含む光はそれぞれ ォ トディテクタ 40 a〜40 cによって検出されて光電変換さ 'れる，
    [0072] これらのうち、 フォ トディテクタ 40 a〜 40 c«D¾¾面は . ビンホール 3 ¾の断面積と比較してある程度大きな面穡とされ ているた *、 フォ トディテクタ 40 a〜40 cのそれぞれの光 電変換償号 （千渉 号） S a〜S cは、 近 域 R a〜R c © それぞれの内部の凸 13も平均化した さ *反 した 号となつ ている， つまり、 第 4図のような凸凹杏持った ¾ 定面 9の場 合には、近傍 S¾Ra〜Rcのそれぞれの平均高さ Ha〜Hc ( 1( は 示省0^ ) を反狭した干渗信号 S a〜S cが得られ こ に ，
    [0073] このような光学系および *出^の E置によって干渉倌咢 S p,
    [0074] Sa〜Sc^られるが、 ^の粗さ測定を開始する前に、 ま ず、 コンピュータ 50から PZTコントローラ 52に ほ号を与えて、 PZT24a〜24 cを、 光 L 波县 程度の ¾西で一度伸 ¾させる， このとき、 コンピュータ 50は干渗信 号 Sa〜S cを取込みつつ上 £伸 額 ®を行なっている， それ によって ΡΖΤ24a〜24 cの さ ¾化 〈したがって被測定 面 3の全^的な上下変 ίΕ) に対する干 僭号 S i (1 ^p. a~c) の 化を観 »する。 笫 5Θに例示するように、 この変 化は正弦波伏となる · そして、.このプ tiセスも通じて干 ^信号 の最大 ¾S i ma Xおよび ¾小 S i m i n (i一 p, a〜c〉 を求める,
    [0075] その後、 近接領域 R a〜R cについての各干珐 号 S a ~S cがそれぞれの 大¾と 小値との平均 ¾Sao， Sbo, Scoと なる位置まで P ZT24 a〜24 cを伸糖しておく，
    [0076] これらのル^"チンは第 8図に 示されているが、 そのうち、 P ZT24 a- 24<；を千 «号33〜3<:がその苹均 (φ 央 となるように位 ¾決めするスチップにおいては、上記平 均 Sao, Sbo, Scoとその時点における干 ほ号 S a, Sb,
    [0077] S cとのそれぞれの « ^を厶 a, 厶 b, 厶 cとして、 P ZT2 4 aについては、 '
    [0078] 厶 oa (厶 a+厶 b+Ac) /3
    [0079] +な （厶 b+厶 c一 2厶 a) ' · (7) を偏差パラメータとし、 = ©«S差バラメータ厶 oaがゼ αまたは その近谤の被となるように、 PZT24 aを 3B動する · ¾の P ZT2 A a. 24 cについては （7)式内の添字 a, b, cを »3的に変えたものも使用する， また、 はあらかじめ設定し ておいた « 正係 iftである ·
    [0080] このようにすることによって、 面 9は、 第 の点 Q に相当する »さに Sされる， このようにするのは、 点 Qまた はこれと 360 ·の整数 だけ位相がずれた他の点 におい ては、 ¾¾定面 9の高さ 化に対する千^ S号 S iの変化率 （ ' 第 S0©グラフの接分 か ftも大きくなつており、 83定 ¾が向上するためである， なお、 ¾¾3¾®高さの ¾化の方 1¾と 干涉僂号 S iの袞化符号との 58係は上 のものと ¾teするが、 第 50中の点 Q1, Q 2に相当する Wさとなるように SS整を行 つてもよい 6
    [0081] これらの点 0» Q' , Q1, 2は、 入射する光し；^ 定 面 9で反射して戻ってくるまでの光路县と、 基準面 33で S¾ して gつてくるまでの光 ¾¾との差 （つまり、 Κ ί光 LS. L Rの光路さ） か光 Lの波县スの 1/4の奇教倍となっているよ うな 測定面 ¾さに相当する。 換官すれば、 これらの点 Q, Q' , αΐ, Q2では、 反射光 LS, LRの相互の位栳差が 90 'の 奇数倍にな ている， ただし、 点 Q, Q' などの近^ (たとえ ば千渉 号の攘幅の; tO. 2倍程 ¾)栢当する靼》としても、 上 S¾化率としてかなりの値がえられる，
    [0082] このようにして、 PZT24a〜24cは同一の位相差に相 当する高さに ¾整され、 m 9と基！ 面 33とは光学的に 平行とされる， ただし、 「光学的に平行」 とは、 それぞれで反 射させた光を千渗させたときに、 光束の断面の各部分の位相が
    [0083] 1 内で同一となっていることを苜ぅものとする♦ したがつ て、 第 1 0図のように、 ¾浏定面 9と Si 面 3 3とが幾何学的 には非 であってもよい， このような光学的 sp^性も突現さ せ ぉくことにより 3つの干^ t号 S a〜S cの が波县 の!^倍だけずれた ί¾Βで ¾8定を行つてしまうと笛う事 SSか 面避される，
    [0084] なお、 このような は、 ^の粗さ ¾定も行なう 前に 1度行なっておくだけでもよいか、 ¾测定面 9がゆる やかにうねっていたり、 電勳テーブル 22に^きがあった りすることによつて走査の逸行とともに被測定面 9の高さ が点 Qを中心とした所定範囲も すもような場合も考え られる， このような場合にも対 するためには、 千渉
    [0085] Sa -Sc と第 5Hのしきい嫂 SrHと *常に比較しておき、 干渉 ¾^Sa〜Scか: tSrHのレンジを fiえる都度、上 E
    [0086] «整 行なうようにしておくこと力aましい，
    [0087] また、 上 Sのようにして ¾られた «大 ttSlm ^および 小値 SWn〈 i=p, a〜0 は、 の »定時における光 ¾羞》号への変 ¾½理 （ft®する， 〉 の目的で、 示しな い信号饑を介してコンビュータ 50から第 1図の千^儅号 理0路 51 a〜bへ与えておく，
    [0088] 次に、 宾腺の粗さ 定 理について 84明する， なお、以 下の ½理は、 笫 フローチャートにも示されている · まず、 第 1図のリ ァァクチユエ一ダ 23を ¾励して チープル 22奁 方！ ¾に 次移動させ、 それによつて光走 査奁開始する · ¾込まれた干澳信号 Sp , -Soは第 1図の干渉^号 ½理 E路 S 1 p, 613〜61 ：にそれぞ ' れ与えられる。 これらの千涉 理 BI路 S 1 . 61 a 〜61 cでは、光 ®差 Di ( i。p， a〜0を、 次の (8) 〜
    [0089] 〈10)式に基いて ¾mして求める *
    [0090] D ( =5 ί λ / 2 ) 5 " C 1
    [0091] .、、 (¾) { 10)
    [0092] ( P,¾ - 上 (8) 〜〈10)式;^ 千 償号の «から光 求める 式になっていることは、 (8) 〜(10)式を Si について解い て、
    [0093] =〔（^ - Sn l2¾.Di /λ ) + ,、い.ぃリ とすることによって容 Sに S»できる， このうち、
    [0094] ( ^ tm^ 一 5]mm / 2.
    [0095] は であり、
    [0096] (■SllhAX十 (^h)/2
    [0097] は 点移 ft量である ·
    [0098] このようにして求まった^ ^号 D( ( i-p, a〜 は、 加 SSS3および i¾»S64によって、 中心 部 Pについての回凸信号：
    [0099] ，い' 【12) となる， この式からわかるように、 信号 2 は、 中心 部 Ρと近 〜R0との ί«の相対的凹凸関係 （位置 もま現する键奎持っている， つまり、
    [0100] 〜DC は各近傍 «¾ίί&〜R のそれぞれにおいて、 領域 R¾〜RG內の平均 さ HA〜HC奁反狭した信号となつ ている力 それら *平均化して光照射接域 A全体としての 平均 ¾さを求め、 それ として中心 UPの光路 1 ^号 D のレペルを見ていることになる,
    [0101] したかって、 铰浏定 8の S動などによって ¾ 定面 9 か全体として上下動し、 それによつて各光路 ¾Hf号∑) ΐ ( i=p， a〜C)がそれぞれシフトしても、 （12)式によってそれらが 互いにキャンセルされるため、 正確な 03凸 t Sを知ること ができるのである， そして、 この G!I凸ほ号 Zp はコンビ.ュ 一夕 5 0に取り込まれ、 そのレベルと走ま位 3との 55¾が ブロッタ 6 5で 22 お上に Β»される · 走査によってこの 理杏 ¾k測定面 9の各 魔について行なうことにより、 被 »定面 9の粗さか ¾定される，
    [0102] C, データ例
    [0103] % 8図は上記実 によつて測定された凹凸 号 Z
    [0104] 第 8図 （0) を、 光 僂号 Dp ' D¾ (间図 (a) , (b) ) とともに示したグラフである。 ただし、 椽翰は時 *<であり、 この第 8図の例では、 外都からの接動の 見るために
    [0105] ¾¾8定物 8は静止させている （つまり走査は行なっていな い， ） · そして、 図中の^ rt M において 测5£% 8も ¾ 制的に攝勳させるような衝撃力も与えていも 0
    [0106] この Ξからわかるように、 ；：のような ¾動に対して光路 差ほ咢 , D¾ (Db , DCも同 »· ) はかなり動摇す るが、 それらの楚に相当する 号 Z pにはほとんど » 摇はない，
    [0107] また、 に《面任上げされた被瀰 9の走査を行な つて表面粗さ *測定した繪某である笫 9図では、後 Λな 00 凸が凹凸潸号 によってとらえられている棣子がわかる， ただし、 第 8図において、 t 〜t3か^ E (並逸移 ») によって 5ί的な測定を行なっている ¾閜である， *Jt上の利用可 ¾の利用可能 S
    [0108] 以上¾¾明したように、 この発明によれば、 近痃« の平均的 な ¾きも基準とした D3凸 »Sに基づいて表 さを濟定する ため、 ¾測定面や aj定系に s勳か加わってこれらの閜の ififfii
    [0109] ^化しても？ 度の Sさ 定かできる ·
    权利要求:
    Claims Ί II求の «囲
    1. 非浏 を走査して前! a¾¾定面のま面の ¾®aさ «3¾ sstであって、 所定価所に位 at決めされたセンサ面を有し、 その時点における前記被測定面上の a走査 s域の中心部と前 βセンサ面との wの相対的 係を光学的に検 ώする第 1 の K センサと、 前記第 1の匪離センサのセンサ面に対して 所定の位置 H係にある佃所に位 決めされた別のセンサ面を 有し、 前 S2中心部の近 領域と前 β別のセンサ面との IS 平 均的な相対的蹈鑀 SB係を光学的に検出する第 2の »センサ と、 前 ffi第 1と第 2の頭 βセンサのそれぞれの検 ffi結果に基 づいて、 Ulia中心部と前記近滂領域との Wの相対的 凸 89孫 を瀵算してもとめる演算手段と奁«え、 前記相対的 Πϋ凸閟係 に基づいて前記 ¾測定面の表龍さももとめることも特微と する表 ®sさ as定
    2. 前 E第 1と第 2の «センサは、 ¾定光が所定の基準面 前 定面とのそれぞれで反射されて傳られる第 1と第 2 の反射光の光 5差に応じた光千渉も生じさせる干 機構と、 前 干 «構からの千 Φ光を *出する光センサとを俯えてお り、 前 Ε被測定面と前記基準面との少なくとも一方は、所定 の 動手 ®によって当垓面の姿勢及び奉 ¾方向の位置を g化 させることのできる可変支持機構で支持されているとともに 、 前 第 1と第 2の盟 ンサの検出出力に基づいて、 （a ) 前 ¾t¾JCTと前記基準面とを光学的に実 に平行とし 、 （b ) かつ前 |2第 1と第 2の 光の間の光路差を 定光 の波县の 1ノ 4の基数倍またはその近¾の «とするように 、 前 K可変ま持機構の ¾励芋 ¾に¾»制癇僭号を与える位 S •姿勢制御手設が設けられた、 特许 It求の «囲第 1項記載の 表 Sさ測 S¾S。
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    JPH0562922B2|1993-09-09|
    JPS63201509A|1988-08-19|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1988-08-25| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): GB US |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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